【摘 要】
:
在超精密制造领域,例如半导体加工、生物工程和航空航天零件制造,其控制、加工和装配精度均在微纳米级,因此,需要具有相应精度等级的定位装置以保证其精度。传统的定位装置无法摆脱机械传动机构内在的摩擦力,从而造成了运动精度低、运动自由度受限等缺点;现有的以压电材料为执行器的微动装置能够在多个运动方向上同时达到纳米级的定位精度,但仍存在运动行程小、响应速度慢等缺点。当前,磁悬浮定位技术被认为是实现高定位精度
论文部分内容阅读
在超精密制造领域,例如半导体加工、生物工程和航空航天零件制造,其控制、加工和装配精度均在微纳米级,因此,需要具有相应精度等级的定位装置以保证其精度。传统的定位装置无法摆脱机械传动机构内在的摩擦力,从而造成了运动精度低、运动自由度受限等缺点;现有的以压电材料为执行器的微动装置能够在多个运动方向上同时达到纳米级的定位精度,但仍存在运动行程小、响应速度慢等缺点。当前,磁悬浮定位技术被认为是实现高定位精度、大运动行程、多运动自由度、高响应频率的有效手段。洛伦茨执行器作为一种直流驱动式运动执行器,具有优异的可
其他文献
俗语云“郡县治,天下安”。据文字记载,“县”已经在我国历经2500多年的历史发展。我国的县域地区,基本公共服务供给普遍呈现质量不高、总量不足、满意度较低的问题。基本公共服务供给是我国公共财政的职能之一。政府间财政关系作为公共财政制度的重要组成,能够对各级政府履行公共职能的效率、积极性和财力保障等方面产生影响,进而影响政府的基本公共服务供给能力。但是目前我国政府间财政关系,特别是省以下政府间财政关系
探讨农用地整理对区域生态系统服务的影响对促进农用地整理区各项生态系统服务的均衡、高效与稳定,实现土地可持续利用具有重要意义。本研究以福建省建溪流域为研究对象,基于遥感影像数据、农用地整理项目数据、土地利用等数据资料,利用野外实地调查,采用文献分析法、空间分析法、模型模拟法、统计分析法和对比分析法,研究了农用地整理前后的景观动态变化,定量评估了农用地整理对粮食生产、土壤保持和碳存储等3种关键生态系统
自改革开放以来,“以家庭承包经营为基础、统分结合”的双层经营体制成为农村经济体制改革的核心内容,为释放农村经济活力发挥了重要的作用。但是现阶段,“细碎化”的分散经营方式制约了传统农业向现代农业的转型,需要新型农业经营主体介入。农民专业合作社是我国现代农业经营主体之一,是将小规模的农户经营与规模化的组织经营相结合的一种经营方式,既能够有效帮助农民增收,又能够推动现代农业发展。我国的农民专业合作社经历
流域上游水源地是国家为保护相对脆弱的水资源生态环境划定的区域,其森林资源的涵养水源和保持水土的生态服务功能对下游水资源生态环境产生直接影响。下游地区作为受益者免费享有上游提供的森林生态服务,上游地区因保护水源地森林生态环境而自身发展权利受限。为了弥补上游保护森林资源与建设生态环境遭受的损失,下游有义务对上游进行补偿。由于补偿方式单一、补偿标准较低和补偿资金有限的政府财政转移支付很难弥补流域上游林农
目前,越南经济正逐步融入区域和世界经济之中,2007年1月11日越南已经正式加入世界贸易组织,越南需要参与世界经济。在这一背景下,越南国家大学教育需要寻找增加自主权和自负责任的合适道路,目的是为了“统一改革教育思维,从目标、内容、方法至结构、组织系统和管理机制,从而接近区域和世界的教育水平”~((1))。近几年来,越南教育基金比例与其他国家相比已经达到最高的比例。然而,与先进国家相比和实际需要,越
税收是为了支持国家中的若干经济活动所必需的一种规范形式,增加税收是提高政府收入的最佳途径。税收是政府获取收入的一个重要来源,也是个人或组织对政府的一项金钱负债。税收的主要目的是为公共支出提供资金支持,同时也被用来实现其他目标,例如,平衡和处理经济中的社会与金融问题。税收是具有一定强制性的,任何国家的人民都必须支付,以确保政府能够提供公共物品以及好的商品和服务,例如教育、医疗,税收还可促进经济增长,
干旱已成为当今重要的生态问题之一,同时也是制约农业可持续发展的重要因素。薏苡Coix(Coix lachrymal-jobi L.)是禾本科一年生或多年生草本药食兼用植物,含有丰富的蛋白质、脂肪等营养成分,而且还具有重要的药用功效。随着对薏苡保健功能的进一步认识,其用途越来越广泛,市场需求也越来越大。因此,对于薏苡的栽培种植有着广阔的市场和前景。薏苡其习性与水稻相似,是耗水量较多的一种作物,干旱是
半导体器件与半导体材料自身的物理性质有着密切的依赖关系。近些年,人们对Ⅲ-Ⅴ主族半导体表现出浓厚的兴趣。其中,InN在第三主族氮化物半导体中具有最低的有效电子质量,这意味着InN具有高迁移率和高饱和速率,引起广泛关注。随着分子束外延等薄膜生长技术的发展,获得的高质量InN表现出较窄的能隙,约0.6 eV,在In1-xGaxN固溶体中通过改变Ga的含量就可以使其能隙覆盖从近红外到紫外的波段,在光发射
由于在半导体(Semiconductor,SC)衬底上生长铁磁(Ferromagnetic,FM)薄膜在自旋电子学领域存在非常有前景的应用价值,在过去的20年中,引起了广泛的关注。不少早期的研究集中在Fe(bcc)/GaAs(001)或者CoFe(bcc)/GaAs(001)体系界面诱导的面内单轴磁各向异性(Unixial Magnetic Anisotropy,UMA),在GaAs(001)衬底
坡莫合金Py(Py=Ni80Fe20)作为重要的软磁材料,具有低矫顽力、低磁各向异性、低阻尼因子等特点,广泛的应用于自旋电子学的研究中。而过渡重金属元素铂(Pt),银(Ag),金(Au)具有较大的自旋轨道(L-S)耦合作用,可以通过与Py的掺杂,修饰或影响自旋电子学器件的磁学性质。因此,本论文以坡莫合金-重金属掺杂薄膜为主要研究对象,系统地研究了不同掺杂浓度的Py100-xMx薄膜(M = Pt,