近年来,超导共面波导谐振器在越来越多的领域得到了很大的应用。它可以作为量子器件用于量子计算中,还可以用在参量放大器、分支放大器中。现在最热门的应用是作为动态电感阵列探测器用于宇宙微波背景辐射的探测上,可以探测的频率主要集中在紫外,x射线能量很高的波段。目前共面波导谐振器主要有λ/4和λ/2长度上,其中λ/4长度主要应作动态电感探测器,而λ/2主要用于参量放大,固态量子计算,量子信息处理。本文的谐振器长度为为λ/2,由于共面波导结构简单,中心导体线和地面在同一个衬底面上,所以易于制作,而且还可以在上面并联很多的元器件。首先利用有限元分析软件设计建模了共面波导谐振器,然后制作了样品。之后在本实验室的稀释制冷机20mk的低温下使用矢量网络分析仪测量了共面波导谐振器的传输系数S21,谐振频率f0以及负载品质因数QL,得到负载品质因数大小为5.6×103。之后使用传输矩阵方法,从理论上拟合了测量的数据,得到拟合曲线,发现拟合的曲线与测量的曲线在谐振频率附近吻合的很好,进而拟合得到了耦合电容的大小。我们使用数值计算方法计算得到的耦合电容与拟合得到的耦合电容之间的偏差很小,仅有|0.14%|的偏差。