【摘 要】
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该文对现代激光干涉仪的特点和发展方向作了总结——共路干涉、移相(条纹扫描)及计算机条纹自动处理,较系统地论述了利用激光双焦偏振干涉系统测量表面微观轮廓的技术.论文从
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该文对现代激光干涉仪的特点和发展方向作了总结——共路干涉、移相(条纹扫描)及计算机条纹自动处理,较系统地论述了利用激光双焦偏振干涉系统测量表面微观轮廓的技术.论文从理论上分析了实际系统中存在的一个问题:激光椭圆偏振化现象的产生.同时,论文对于调相系统作了系统地论述和分析比较:分析了现有系统机械调相中存在的问题,并作出了相应的改进;对于实际应用系统中出现的现象,从计算机仿真结果出发作出了相应的解释.对于用CCD传感、图象卡采集进入计算机的干涉图作了相应的相位提取和消跳变,得到了连续的波面信息,并作了相应的功率谱估计.从无到有地开发了一个具有干涉条纹图的采集、分析、显示、保存等功能的软件系统,同时分析了限制光学干涉检测应用的某些因素.
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