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Ti-Si-N纳米复合膜制备与性能

来源 :沈阳大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yyaizy

【作 者】

：

朱跃长 

【出 处】

：

沈阳大学

【发表日期】

：

2018年09期

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