光微流控芯片是依靠光实现对微流体内粒子的检测,其设计和制作的关键是在微管道网络上集成平面光波导或者平面透镜,将探测光信号传输到相应的区域。本文采用SU-8作为波导芯层材料制作了光波导,对准分布在微管道两侧。制作了U型槽作为标准单模光纤的限位机构,实现了光纤与平面光波导的精确对准。最后采用粘接键合封合微管道,完成了光微流控芯片样片的制作。本文的主要内容包括:1.设计了一种光微流控芯片,用于血细胞计数。主要包括液体通道的设计和光路的设计。其中液体微通道结构通过Fluent软件进行仿真和优化。2.分别采用玻璃和SU-8制作了开放式微管道结构,分析了各自制作工艺中常见的缺陷,对比了两种基底材料制作微管道的质量,讨论了两种材料制作阶梯槽的工艺可行性。3.在开放式微管道基础上制作了平面光波导。波导芯层材料为光学性能优异的SU-8光刻胶。设计并制作阶梯槽实现了波导与光纤的对接。采用SU-8作为基底材料,通过两次曝光、一次显影完成了阶梯槽的制作。巧妙地制作了集成掩膜并使用背面曝光进行第一次曝光处理,第二次曝光时通过光刻掩膜与集成掩膜上的标记对准实现了两层结构的对准。4.采用稀释的SU-8作为中介层粘接键合实现了微管道的封合。分析了管道堵塞以及键合空洞的形成机理,对粘接键合的工艺参数进行了优化,具体包括胶层厚度、胶层预处理、键合温度等。5.基于上述工艺步骤,成功制作了光微流控芯片样片。