【摘 要】
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随着集成电路和光伏产业的飞速发展,硅材料加工技术越来越受到重视,其中切割是硅材料加工的一道关键工序。多线切割是目前最先进的切片加工技术,张力控制是多线切割机系统的
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随着集成电路和光伏产业的飞速发展,硅材料加工技术越来越受到重视,其中切割是硅材料加工的一道关键工序。多线切割是目前最先进的切片加工技术,张力控制是多线切割机系统的关键技术之一。自从DSP芯片诞生以来,DSP芯片得到了飞速的发展,现已成为电子工业领域发展最迅速的技术,在各行各业的应用越来越广泛。目前,DSP芯片的价格也越来越低,性能价格比日益提高,具有巨大的应用潜力。因此,设计与开发以DSP为核心的多线切割机张力控制系统,具有一定的理论和实际应用意义。本文针对多线切割机走线系统和线张力的特点,以DSP芯片TMS320F2812作为核心处理器,进行了硬件与软件的设计与开发,实现对多线切割机线张力的控制。本文设计开发了DSP控制板用于控制系统走线,包括:加工辊、放线辊、收线辊三个伺服电机的转速控制,放线侧和收线侧两个浮动辊的伺服电机的转矩控制。DSP控制板采集张力、速度等传感器信号,并按控制策略进行数据处理,实时调整输出信号,对上述5个伺服电机实时控制。为了方便用户观测和操作,DSP控制板与触摸屏RS232通讯,进行参数的设定、数据显示与功能操作。同时为进一步提高张力的可视性效果,增强界面的绘图能力,DSP控制板与PC机USB通讯,将张力数据上传到上位机实时绘制张力曲线。本文设计的DSP控制板可以实现对多线切割机走线系统及线张力的运算嵌入式实时控制。论文首先给出了总体设计方案,接着对系统的硬件设计和软件设计进行了详细的介绍。包括了DSP最小核心模块的开发、采样模块的开发、运动模块的开发和通信模块的开发。在完成了系统软硬件的设计之后,对多线切割机线张力的控制算法进行了研究。并且进行了数字控制器的研究与设计,采用了较为先进的自适应逆控制算法。
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