【摘 要】
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本文选择Si2-Al2O3-MgO-La2O3-ZnO系微晶玻璃作为基础体系,通过调整ZnO含量及采用不同的热处理方式,应用微波微扰法测量样品的微波介电性能,结合X射线衍射分析和扫描电镜,对样品
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本文选择Si2-Al2O3-MgO-La2O3-ZnO系微晶玻璃作为基础体系,通过调整ZnO含量及采用不同的热处理方式,应用微波微扰法测量样品的微波介电性能,结合X射线衍射分析和扫描电镜,对样品进行晶相分析,并阐述了它们之间的关系。样品的微波介电性能受晶化后所析出晶相的控制。影响其介电性能的根本因素是最终样品中析出的晶相及其相对含量。通过对样品的晶相分析表明,随ZnO含量的增加和600℃保温时间的延长,晶相MgSiO3和Mg2La4Ti3 Si4O22在样品中的相对含量逐渐降低,晶相ZnAl2O4在样品中的相对含量逐渐升高;通过对样品微波介电性能的测量表明,样品的相对介电常数随ZnO含量的增加而增大,介电常数温度系数随ZnO含量的增加和600℃保温时间的延长而降低。因此晶相MgSiO3和Mg2La4Ti3Si4O22具有较低的介电常数和较高的介电常数温度系数,而晶相ZnAl2O4则具有较高的介电常数和较低的介电常数温度系数。通过改变ZnO的含量和600℃的保温时间,可以得到介电常数温度系数在115~175ppm/℃之间可调的样品。实验中得到了性能优异的样品,其中ZnO含量14wt%,600℃保温7h后850℃保温40h:εr=14.301;Q=1437;τε=2.5ppm/℃;ZnO含量15wt%,600℃保温5h后850℃保温40h:εr=14.561,Q=1168,τε=0.14ppm/℃,达到了实用要求。
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