一体化光学振动测量仪

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【摘要】

：

高性能、高稳定性的振动加速度传感器一直是工程技术领域的研究热点,在机器运行状况监测中起到重要作用,传统的压电振动传感器性能强大、产品系列丰富,但是在自身重量上不占优势。近年来MEMS(Micro-Electro-Mechanical System,微机电系统)振动传感器在市场上发展迅猛,在万物互联的大背景下取得了广泛关注和研究,但是MEMS传感器大多基于电学测量,在复杂的多电磁环境下性能容易受到干

【作者】

：

胡亮

【机构】

：

东南大学

【发表日期】

：

2018年01期

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