本论文以上海深紫外自由电子激光(SDUV-FEL)装置的建设为背景,结合了工程的实际需要,围绕加速器束流截面诊断技术展开了研究,实现了一套可用于上海深紫外自由电子激光的束流截面测量系统。　　 在系统的硬件设计方面,吸收了电子通信技术和工业自动化控制领域的最新发展成果,采用了基于工业以太网的方案。整个系统包含图像采集、气动控制和步进电机控制三大子系统。图像采集子系统中选用了德国Basler公司出品的scA640-70gm千兆以太网相机作为主要设备；气动控制子系统中选用了MOXAE2210和MOXAR2110输入输出模块对气动测量设备进行控制,并且能够驱动照明板；步进电机控制子系统中选用了Galil公司出品的DMC-21x3运动控制卡,配合驱动器细分控制,定位精度可达1微米。以上设备均可以通过以太网传输数据和控制信号,兼容性好、开放性高、支持设备多,是一套性价比较高的解决方案。　　 在系统的软件架构方面,采用了虚拟仪器技术完成设备的驱动和测量软件的开发,并且通过SharedMemory技术使虚拟仪器开发平台LabVIEW和加速器及大型物理实验装置控制系统EPICS连接,实现了跨平台操作。软件系统同样包含图像采集、气动控制和步进电机控制三个子系统,此外还有实现跨平台通信的子系统。设备的驱动主要在LabVIEW中调用动态链接库(DLL)实现,应用程序通过调用LabVIEW中的有关模块实现。　　 实验室测试和加速器调束实验结果表明,该系统运行情况良好,被控制的束流测量设备动作准确,获得的截面图像信息真实可信,是SDUV-FEL装置的重要诊断手段。