微机电系统的高速发展，使得大规模生产微型元器件的需求更加的迫切，而粉末微注射成形(μ-PIM)技术是快速、高效生产微型化元器件的关键技术。本课题主要研究了氧化锆微型齿轮和微型模具的μ-PIM技术制备工艺，最小的齿轮齿项圆直径为200μm。　　 对粉末微注射成形来说，注射工艺条件的控制对喂料注射过程起着关键作用，研究过程采用ANSYS-CFX软件对充模过程进行模拟，并以实验验证模拟结果，得到微齿轮最佳注射参数：注射温度150℃～160℃，模具温度60℃；微型模具最佳的注射参数：注射温度170℃，模具温度60℃。　　 成功制备了烧结致密的氧化锆微型零件，其中亚微米氧化锆粉制备的微型零件在1600℃下烧结获得了致密烧结体，相对密度达到99.18％，基板最大收缩率24.54％，微齿轮最大收缩率23.86％，显微硬度13.38GPa，轮齿表面粗糙度5.5±0.7μm，齿轮中心4.0±0.3μm；纳米级氧化锆粉制备的微型零件在1400℃下烧结获得了致密烧结体，相对密度为99.67％，基板最大收缩率24.95％，微齿轮最大收缩率23.73％，显微硬度14.77GPa，轮齿表面粗糙度5.6±0.8μm，齿轮中心5.3±0.5μm，微型零件在烧结过程中，基板比微齿轮先烧结致密，在微齿轮烧结致密时，基板晶粒已经长大。