IC互连碳纳米管关键技术研究

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随着集成电路特征尺寸的微细化,多层互连电子散射和晶界散射引起的电阻增大效应日益严重,当芯片特征尺寸缩小到30nm时互连线的电流承载密度将达到10~7A/cm~2,这是目前的铜互连无法承受的。这一致命的缺陷迫使集成电路行业必须寻求新型互连材料。而且据研究表明,多壁碳纳米管(MWCNT)能承受高达10~(10)A/cm~2的电流。这一特性加上电子在碳纳米管(CNT)中的弹道传输特性使得碳纳米管引起了集成电路制造领域专家的关注,并且正在成为GLSI互连材料的最佳选择之一。为制备IC互连用高密度
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