【摘 要】
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微小型化始终是当代科技发展的重要方向.随着科学技术的发展,在光学、电子、机械制造、机器人、生物、医学等领域对微小型化技术的需求越来越迫切.MEMS(Micro Electro Mechan
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微小型化始终是当代科技发展的重要方向.随着科学技术的发展,在光学、电子、机械制造、机器人、生物、医学等领域对微小型化技术的需求越来越迫切.MEMS(Micro Electro Mechanical System)即微机电系统技术正是在此背景下应运而生,并且迅速地在微机电领域、生物工程领域、医疗科学领域等得到广泛应用.各种微型零件的加工过程往往需要一步到多步的装配,而操作对象的微小化迫切要求进行与之相适应的微操作技术(Micromanipulation Technology)及微机器人的研究.在对压电陶瓷驱动微位移机构的国内外发展现状详细分析的基础上,该文研制出了一种新型四自由度纳米微动平台,并重点对该微动平台的控制系统和驱动电源进行了研究.该移动平台采用一种新的压电陶瓷驱动方式,可以在X、Y、Z、θ四个方向上运动.由于压电陶瓷的特性,使平台具有高精度、高负载能力等特点.该文在总结前人研究成果的基础上,创造性地研制出了用于该实验系统的微动平台控制系统和无线微动平台控制系统.该控制系统不仅仅能用来控制该实验系统中的微动平台,而且还可以作为通用压电陶瓷驱动电源以驱动其他系统中的压电陶瓷驱动器.而且该控制系统具有体积小、无线控制、多达6路输出等特点.
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