随着高功率和高能量激光系统在科研和工业中的应用越来越广泛,光学薄膜元件成为高功率和高能量激光系统中的关键环节,一旦发生损伤将会影响整个系统的工作性能。评判光学薄膜稳定性的重要参数之一是薄膜的抗激光损伤能力,通常薄膜的抗激光损伤能力由激光损伤阈值表示,为了更好地评判光学薄膜的抗激光损伤性能,需要准确测量薄膜损伤阈值,而激光参数是获得高准确度薄膜损伤阈值最直接的影响因素,因此开展激光参数对薄膜损伤阈值的影响研究十分有意义。本文基于理论分析和实验测试展开了激光参数对薄膜损伤阈值的影响研究。通过对激光参数与薄膜损伤阈值数值模型的建立和计算机模拟,理论分析了激光输出能量、聚焦光斑尺寸和2M因子对薄膜损伤阈值的影响。在对常用激光束形参数测量方法研究的基础上,提出了基于夏克-哈特曼波前检测的测量方法,详细阐述了其测量原理;设计并搭建了以夏克-哈特曼为主要探测装置的激光束形参数测量系统,测量激光光强分布,根据光强分布的二阶矩定义计算聚焦光斑尺寸和2M因子,对比实测值与标称值;根据重复性等精度测试原理,多次测量激光输出参数和薄膜样品的损伤阈值,分析激光输出能量、聚焦光斑尺寸和2M因子对薄膜损伤阈值的影响;由统计学原理,计算了薄膜损伤阈值的不确定度。实验结果表明:激光器输出参数稳定性较差,能量相对误差最大值为9.99%,聚焦光斑尺寸相对误差最大值为7.81%,2M因子测量平均值为7.7,已经远远偏离基模高斯光束理想值;激光输出能量误差、聚焦光斑尺寸误差与薄膜损伤阈值误差呈正比例关系,2M因子与薄膜损伤阈值呈反向相关关系,由能量误差和聚焦光斑尺寸误差引起的薄膜损伤阈值合成相对不确定度高达18.72%。通过实验验证,激光输出能量、聚焦光斑尺寸和光束质量的稳定性对薄膜损伤阈值的准确测量均有影响。因此,研究激光参数对薄膜损伤阈值的影响,为获得准确的薄膜损伤阈值测试结果提供方向。