Sol-Gel法制备ZnO:Al透明导电膜及其光电性能研究

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【摘要】

：

透明导电氧化物薄膜因其具有低的电阻率和在可见光范围内高的透射率,在太阳能电池、液晶显示等领域获得了广泛应用。透明导电氧化物薄膜主要包括SnO_2、In_2O_3.、ZnO及上述氧化物的掺杂系列。其中,A13+掺杂的ZnO(简称AZO)薄膜因其具有优良的光电性能己成为研究热点之一。目前,降低AZO薄膜的电阻率,摸索出可重复性好,质量稳定的制备方法和工艺成为亟待解决的问题。本文采用二水合醋酸锌(Zn(

【作者】

：

张锋

【机构】

：

哈尔滨工业大学

【发表日期】

：

2009年06期

【关键词】

：

AZO薄膜氧化锌溶胶凝胶 Al3+掺杂

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