【摘 要】
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本文采用微波等离子体化学气相沉积(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition,MPCVD)的方法,以硅为衬底,在不同实验条件下沉积出各种微米及纳米结构金刚石薄膜。通过改变
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本文采用微波等离子体化学气相沉积(Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition,MPCVD)的方法,以硅为衬底,在不同实验条件下沉积出各种微米及纳米结构金刚石薄膜。通过改变反应气体中的硼浓度,制备出电学性质良好的p型掺硼金刚石膜,并分析了硼浓度的变化对金刚石膜生长和电学性质的影响。探究了氮气的引入对高甲烷浓度条件下生长的纳米金刚石膜的影响。特别是通过提高氮气含量,在p型Si衬底上获得了氮掺杂n型纳米金刚石膜,并在此基础上成功制备了n型纳米金刚石膜/p型Si异质结,该异质结具有优异的二极管整流特性,整流比达到10~2量级,电流密度达1.35 A/cm~2。
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