镁掺杂氧化锌薄膜的制备及光学特性分析

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氧化锌(Zinc oxide,简称Zn0)及相关的Zn(Mg,Cd)O材料体系作为新一代的紫外激发发射和发射激光器件备受关注。随着半导体器件的不断发展,两个亟待解决的问题也相应出现,就是P型掺杂及带隙工程。Zn0激活层作为双重异质结光激发材料,相关的P型掺杂及p-n结器件近些年已经有了很好的进展。为了更好的适应科学的进展发挥ZnO薄膜光、电、热、磁等物理化学优良特性、更大的实现其潜在价值,提高氧化锌在紫外光探测器、发光管、表面声波器件和声敏压敏器件上的应用成为了研究热点。实验证明掺杂是一个好方法,通
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