非晶硅太阳电池界面层及稳定性研究

被引量 : 5次 | 上传用户：yaoyanfeiyu

【摘要】

：

稳定性是制约非晶硅太阳电池进一步发展的主要因素,界面层对非晶硅太阳电池效率和稳定性具有非常重要的影响,本论文采用七室连续PECVD沉积系统,在玻璃衬底上制备出非晶硅材料与电池,研究了TCO/p界面和p/i界面制备工艺对非晶硅太阳电池性能的影响及电池i层制备工艺对电池稳定性的影响。本论文的前期工作,研究了在SiH_4、CH_4流量固定时B(CH_3)_3流量对p型a-SiC:H材料的带隙和电

【作者】

：

韩建超

【机构】

：

河北工业大学

【发表日期】

：

2005年01期

【关键词】

：

太阳电池非晶硅界面层稳定性

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