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激光干涉技术是集激光和干涉于一体的前沿研究课题,它具有大视场、高分辨率、实现方便,成本较低等特点,具有广阔的应用前景。基于激光干涉理论,本论文介绍了两光束和三光束激光干涉图形参数分析以及光束入射条件的讨论。对影响干涉图形结果的主要因素作了深入分析。在两光束激光干涉中,根据条纹图形讨论了对称和非对称入射条件。在三光束情况下,根据获得图形讨论了光束共面和非共面入射条件。分析了三光束位于同一平面能够获得具有调制的干涉图形。激光干涉图形参数及光束入射条件通过仿真和实验进行验证。研究结果将有利于获得理想图形所需干涉系统的设计和校准,尤其在激光干涉光刻方面的应用。