能量色散X射线荧光光谱仪的开发

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X射线荧光分析方法因其具有对试样无损坏、多元素快速分析、准确性高、分析速度快、不污染环境等特点,适合直接用于生产的过程控制和检测中,具有广阔的市场前景和相当的研究意义。本文针对RoHS检测的需求,分析了X射线荧光分析技术的理论基础,明确了能量色散X射线荧光光谱仪的工作原理及相应光谱分析软件设计方法。为实现样品特征X射线的获取及光谱仪的自动控制,本文设计了光谱仪的整体硬件平台,主要包括光路系统和控制系统。光路系统负责激发样品并采集特征X射线,主要由X射线管、滤光片、准直器和Amptek X-1
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