【摘 要】
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针对空间光通信系统中光学系统对滤光膜的特殊要求,结合薄膜的基本理论,分别对近红外宽截止窄带滤光片的膜系、制备工艺以及相关检测技术进行了研究和分析,着重解决了宽截止
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针对空间光通信系统中光学系统对滤光膜的特殊要求,结合薄膜的基本理论,分别对近红外宽截止窄带滤光片的膜系、制备工艺以及相关检测技术进行了研究和分析,着重解决了宽截止带的膜系设计、窄带中心波长漂移等问题。在设计方面,通过实验对薄膜材料的特性进行了研究,借助TFC膜系设计软件优化了高透过宽截止区的膜系；在制备方面,采用电子束加热蒸发及离子辅助沉积技术沉积薄膜,采用光控与晶控同时监控的方法控制膜层厚度,解决了人为控制和设备本身控制引起的误差问题,不断优化工艺参数,所镀膜层在800nm-1530nm、1600nm-1800nm波段平均透过率低于0.3%,1565nm单点透过率高于92%,通带半带宽为18nm,满足光学系统的使用要求。
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