基于光电探测器的显微镜快速自动对焦方法研究

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在显微光学成像领域中,自动对焦技术作为一项关键技术越来越受到青睐。近年来,针对显微切片扫描,研究人员主要采用离线对焦方法。该方法无法在任意横向移动时实时获轴向离焦量,需要在扫描前对整个样品进行焦面拟合建模,导致扫描效率低。一些在线对焦方法可以在任意横向位置获取离焦量,避免了焦面建模时间。研究取得了一定成果,但仍存在获取离焦信号延时、成本高、结构复杂等问题。针对这些问题,本文提出一种基于光电探测器的快速获取轴向离焦量的差动对焦方法。采用两光电二级管安放在像平面焦前和焦后差动探测,经信号处理得到离焦量与
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