本文对软X射线滤光片的制作工艺进行了研究，利用镀膜、MEMS、有机聚合物成膜等工艺实现了滤光片的制作。软X射线滤光片是利用薄金属膜具有透过真空紫外和软X射线而又能滤掉红外、可见甚至紫外辐射的特性来达到滤波作用的光学器件，主要应用于X射线天文学、X射线光刻、高温等离子体、同步辐射等领域。　　 论文主要从软X射线滤光片的性能分析和制作工艺上进行了讨论。结合现有技术，并考虑工艺的可行性和兼容性，提出了滤光片的整体制作方案。滤光片先在覆有分离剂膜的基底上制作完整的结构，再通过溶解分离剂膜释放。本文对这套工艺中的关键步骤进行了深入细致的研究，并详细介绍了薄膜工艺中解决问题的基本方法。其中完成的关键工艺有：在玻璃基底上镀制光洁度高、无喷点的荧光素分离膜；蒸镀质地紧密、无针孔的Al/Ti金属薄膜；用旋转涂层法制作亚微米厚度的自支撑聚酰亚胺薄膜；利用MEMS技术中的电铸和剥离工艺制作精细支撑镍网。从实验结果和工艺兼容性来看，该加工工艺具有很大的可行性。