三氧化钨（WO₃）薄膜因其卓越的电致变色性能而受到青睐,由其组成的器件广泛应用于智能窗、汽车防眩目后视镜等领域。随着高分子聚合物衬底材料的出现,基于WO₃薄膜的柔性电致变色器件在可穿戴电子设备、防眩目眼镜和军事伪装等领域具有广阔的应用前景。柔性衬底材料聚对苯二甲酸乙二醇酯（PET）具有成本低、形变能力强等优点,但熔点较低,无法承受过高的温度。在众多薄膜制备方法中,磁控溅射法具有沉积温度低、易于控制膜厚、成分均匀、膜基结合力强等优点,适用于在柔性衬底上制备WO₃薄膜。本文在ITO/PET衬底上直流反应磁控溅射沉积WO₃薄膜。通过优化最佳掠射角度、柔性衬底表面喷金、掺杂二氧化钛（Ti O₂）,以期提高WO₃薄膜的电致变色性能。通过扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射分析（XRD）等方法,确定薄膜的晶体结构、组织成分、表面和断面形貌;利用紫外分光光度计和电化学工作站,分析薄膜的光学性能和电化学性能。结果表明:当掠射角α<30o时,平整的薄膜表面具有明显的颗粒,断面结构致密。当掠射角α>60o时,薄膜表面形成类似于山峰的形貌,断面为纳米斜柱状结构,这种疏松多孔的纳米结构对于离子和电子的迁移十分有利,提高了薄膜的电致变色性能。与其它掠射角度相比,掠射角α=80o沉积的WO₃薄膜具有最高的电荷容量、最快的离子扩散速率、最短的响应时间和最大的光调制幅度。柔性衬底表面喷金后制备的WO₃薄膜依旧保持其原有的表面和断面形貌。喷金后虽然保持了较高的电荷容量,但是会小幅度地降低WO₃薄膜的光调制幅度、着色效率和离子扩散速率。纯WO₃薄膜仍存在致/褪色响应时间长、循环稳定性差等问题,因此亟需对其电致变色性能进行改进。通过掺杂Ti O₂对WO₃薄膜的致/褪色响应时间和循环稳定性有了显著地改善,制备的Ti O₂/WO₃薄膜保持了疏松多孔的纳米斜柱状结构,进一步提高薄膜的光调制幅度和着色效率,显著地改善了WO₃薄膜的电致变色性能。