微推进器点火桥阵列制作及性能研究

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本文主要研究了微推进器点火桥阵列设计制作工艺,并测试了点火桥膜的电性能。用金属铬作为点火桥膜材料,用金属铜和铝制作引线和焊盘,利用MEMS技术设计制作了点火桥膜和点火阵列。确定了真空镀膜的最佳工艺参数,测出了镀膜时间与膜厚、膜厚与方块电阻之间的关系,找出了光刻和湿法刻蚀的最佳工艺参数。测试了铬桥膜的各项电学指标,探讨了桥膜的电热转换关系,结果表明铬桥膜的厚度约是7646(?)时,点火功率最大,点火延迟时间最短。当通入恒流0.3安培时,铬桥膜点火延迟时间最长。最低点火电压13伏特,可
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