微细加工中微三维结构加工是当今的一个研究热点,而微细电火花加工是微细加工的重要手段之一,得到了国内外很多学者的重视。微细电火花加工中严重的电极损耗问题一直是该技术的研究重点之一,国内外诸多学者在电极损耗补偿上也做了很多的研究。他们主要从加工工艺着手减少电极损耗,或者设计复杂的检测系统,先检测电极损耗量再给予补偿。本文从理论建模出发,提出了一种新的电极补偿方法:定长补偿,即根据所需的加工精度,决定是否补偿,以及所补偿的量是多少。通过反复实验验证,逐步对定长补偿方法作适当的修正与优化。本文的主要研究内容包括如下:研究了无补偿时,在平面上加工窄槽所形成的底面轮廓模型的建立。由于微细电火花加工中电极损耗非常严重,在无补偿时,加工工件底面从加工起始点至终点是倾斜的。求得了加工深度与加工长度的理论数值解。实验表明,无补偿时,随着加工长度的增加,加工深度逐渐减少,直至无限趋向于0,与理论相符。研究了单层单道定长补偿方法,计算出在什么时候电极需要补偿,以及电极需要补偿多少。应用定长补偿方法,实验加工得到的单层单道窄槽的尺寸精度良好。建模分析各项参数发生变化时对补偿结果的影响,如损耗率、补偿量、分层厚度、电极直径、放电间隙等,从理论上得出了各参数变化影响加工精度的规律。测定了钨电极加工不锈钢的电极体积相对损耗率。研究了任意截面时的定长补偿方法,将单层单道定长补偿方法推广到任意截面的加工。