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接触式测量是目前工程表面测量中应用最为广泛的一种。但传统的接触式测量仪存在测量范围小、精度低、参数少、测量方式不灵活等缺点。而在工程应用中,很多工件的重要工作表面都是具有曲率的表面,这些曲面的表面特征对使用性能有着非常重要的作用。对曲面表面形貌的测量不但要测量表面粗糙度,同时也要测量表面波度和形状误差,这就要求轮廓仪应同时具有高精度和大的量程。为此,研制具有大量程、高精度、多参数的激光干涉式大量程表面轮廓仪非常必要。本文的主要研究内容与工作如下:在激光干涉原理的基础上,对影响干