【摘 要】
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本论文主要论述了一种新型的微梁直拉直压结构的介观压光型微机械加速度计的设计和研究。该传感器较传统的硅微机械压阻式加速度计具有较高的灵敏度和谐振频率，同时很好的避免了悬臂梁式加速度计的梁端挠度影响，提高了加速度计的压敏元件对外加加速度的敏感程度。该传感器采用介观压光检测，即将光子晶体替代原来的压阻元件，利用光子晶体的光子禁带及透射率随外界压力变化的特点，得到光子晶体透射率与加速度引起的微梁所受应力之
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本论文主要论述了一种新型的微梁直拉直压结构的介观压光型微机械加速度计的设计和研究。该传感器较传统的硅微机械压阻式加速度计具有较高的灵敏度和谐振频率，同时很好的避免了悬臂梁式加速度计的梁端挠度影响，提高了加速度计的压敏元件对外加加速度的敏感程度。该传感器采用介观压光检测，即将光子晶体替代原来的压阻元件，利用光子晶体的光子禁带及透射率随外界压力变化的特点，得到光子晶体透射率与加速度引起的微梁所受应力之间的关系，获得检测的高分辨率。论文的第一章主要介绍论文的研究背景及意义，MEMS加速度计的应用和
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