【摘 要】
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课题"激光外差干涉技术应用表面形貌检测的研究",其目的是探讨一种新的基于激光外差干涉原理的表面形貌测量方法和应用技术,即以测相技术来实现高精度表面形貌测量.这一测量
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课题"激光外差干涉技术应用表面形貌检测的研究",其目的是探讨一种新的基于激光外差干涉原理的表面形貌测量方法和应用技术,即以测相技术来实现高精度表面形貌测量.这一测量思想是对现有测量方法的重要补充,对表面形貌测量技术的应用将起着积极的推动作用.论文最后用所研制的测量仪对表面粗糙度参数、台阶和三维形貌进行了测量,并与Wyko干涉显微镜、Talysurf-6型轮廓仪和6J型干涉显微镜进行了比对,结果表明,文中所进行的理论分析和所提出的测量方法是正确的,并达到了设计要求.
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