蘑菇型RCE光探测器中谐振腔结构的设计和优化

来源 :北京邮电大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tq19822002

【摘要】

：

在新一代高速光通信系统的发展驱动之下,光电子器件的发展越来越迅速。在垂直型PIN光探测器中,带宽和量子效率之间存在固有的相互制约关系,因而有各种新型结构的光探测器发展起来,谐振腔增强型光探测器(resonant cavity-enhanced photodetector,RCE)就是其中的一种。近年来,由于具有优良的光场调控特性,集成亚波长光栅(sub-wavelength gratings,SW

【作者】

：

张帅

【出处】

：

北京邮电大学

【发表日期】

：

2019年01期

【关键词】

：

非周期亚波长光栅谐振腔增强型光探测器相位调制法布里-珀罗谐振腔蘑菇型光探测器

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