为满足国内掠入射X射线成像望远镜的工程研究需求,本文深入研究X射线掠入射望远镜成像质量评价方法。详细阐述了几何光学光路计算方法、孔径衍射分析方法、表面散射分析的线性系统理论、镜片移位误差的TRA计算方程。自主开发光学分析软件,该软件可以计算在几何光学像差、孔径衍射、表面散射、镜片移位误差和低频表面误差单独作用下X射线掠入射望远镜光学系统的点扩散函数GPSF、ADPSF、SSPSF和RSEPSF;根据线性系统理论,上述所有点扩散函数的卷积运算结果就是系统综合的点扩散函数APSF。在光学设计和望远镜加工阶段,使用该软件可以分析和预测望远镜成像质量,提出合理的误差容限;在望远镜定标测试阶段,根据实测的光学制造公差或者镜片的能谱密度数据,可以预测望远镜成像质量,分析不同成像条件下望远镜的系统性能。对于正在研制的X射线掠入射望远镜,本文使用该软件计算了表面粗糙度取不同值时系统的SSPSF响应曲线,对比分析结果提出了合理的表面粗糙度误差容限;计算不同遮拦比取值时的ADPSF响应曲线,结果表明可以忽略孔径衍射对成像质量的影响;给定遮拦比、X射线波长、视场角、表面粗糙度和L-F多项式系数等各参数值,根据望远镜具体的结构设计参数计算出系统综合的APSF和FEE响应曲线,据此预测望远镜成像质量;改变各参数取值,对比综合考虑各种因素情况时系统的FEE与GPSF、ADPSF、SSPSF、RSEPSF的FEE曲线可以得出不同成像条件下望远镜成像质量的主要影响因素。这些计算结果对于X射线掠入射望远镜的工程研究具有重要的指导意义。本文在国内首次提出采用系统工程的分析方法处理X射线掠入射望远镜的像质评价。