近年来应变传感器发展迅速,对应变的监测在航空航天、电力工业、机械制造、能源开采等领域存在着广泛需求。为了检测高速轴承上的应变,本文提出了一种柔性应变传感器,该传感器通过电磁耦合方式实现信号的无线监测,具有无需供电的特性,可通过谐振频率的变化来监测装备应变。采用柔性材料作为衬底,可更好的与轴承贴合发生协同应变。本文研制的无线无源应变传感器是为了检测轴承在运行过程中产生的微小应变,以便及时发现故障、降低损失。主要的研究内容如下:1、对国内外的应变传感器进行了研究,对多种应变传感器的工作原理和测试方式进行了分析,选择了叉指电容式应变传感器,对其敏感机理进行了分析,建立了相应的等效电路模型,分析了电磁耦合的原理。2、对无线无源应变传感器的制备材料进行了分析和选择,初步设计了应变传感器的结构。采用电感电容分离的结构,可有效延长使用寿命。进行了仿真分析,通过仿真结果调整传感器尺寸,对结构进行了优化。通过仿真得到了传感器与天线的最佳耦合距离,分析了应变传感器的电场分布情况,对应变传感器制备的可行性提供了理论验证。3、研究了无线无源应变传感器的电容电感制备方式和薄膜沉积方式,选择电镀技术制备传感器,采用脉冲激光沉积技术沉积Al N薄膜,按照仿真优化后的结构有效完成了传感器的制造。4、建立了应变测量平台,测试了无线无源应变传感器叉指电容的电容值,结果表明叉指电容的电容值随应变的增大而减小,符合预期结果。完成了对应变传感器的量程检测及分辨率检测。检测结果表明,该无线无源应变传感器能够在0～3000με范围内平稳运行,应变分辨率达20με。本文对无线无源应变传感器的耦合机理、设计制造及测试方式进行了研究,制造的传感器具有体积小、量程大、分辨率高、可无线监测的优点,在工程上具有广阔的应用前景。