压电泵作为压电驱动器的一个重要分支,具有结构简单、体积小、重量轻、耗能低、无电磁干扰、输出性能易于控制等特点,因此在医疗、化学分析、航空航天以及汽车发动机燃料供给等领域都有着广阔的应用前景。压电泵工作时,主要是通过单向阀控制流体的运动方向,形成流体的定向流动。但随着压电泵工作频率的提高,单向阀的滞后性成为影响压电泵工作性能的关键因素,因此,为提高单向阀的响应特性,人们又开展了主动阀压电泵的研究工作。本文在总结前人工作的基础上,建立了主动阀压电泵的理论模型,进行了相关的理论分析研究,提出了圆形压电振子和压电叠堆驱动式主动阀压电泵的结构方案,并设计制作了样机,进行了相关的试验测试与分析,为下一步开展主动阀压电泵的研究提供了理论依据和技术支持。本文具体研究内容如下:1、在压电驱动理论的基础之上,利用解析法对复合圆形压电振子的振动进行了理论分析,用实验的方法对其中心变形量进行了测试,为今后设计高性能的压电泵提供了理论依据。2、设计制作了圆形压电振子式和压电叠堆式主动阀,对它们的静、动态特性进行了测试分析,为下一步设计高性能的压电泵提供技术支持。3、提出了圆形压电振子驱动式主动阀压电泵的结构方案,阐述了其工作原理和工作过程,并分析确定了驱动振子和阀片振子上驱动信号相位差关系,以使压电泵获得良好的输出性能。4、对圆形压电振子驱动式主动阀压电泵进行了大量的实验,寻求驱动电压、工作频率等因素对其输出性能的影响规律以及不同腔体高度、不同阀孔直径对其输出流量的影响规律,为压电泵获得良好输出性能和结构优化提供了实验依据。