【摘 要】
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成像椭偏仪（Imaging Spectroscopic Ellipsometer）是一个能够实时观察或显示样品表面信息并对感兴趣的区域进行测量的仪器。它具有无损检测、非苛刻性、精度高、成像并可观察感兴趣区域等优点，可应用于石墨烯、太阳能电池、自组装单分子层，蛋白质-蛋白质相互作用等领域。成像椭偏仪在对待测样品进行测量之前，需要对其系统参数进行精确的校准，系统参数校准的好坏将直接影响成像椭偏仪测量的
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成像椭偏仪（Imaging Spectroscopic Ellipsometer）是一个能够实时观察或显示样品表面信息并对感兴趣的区域进行测量的仪器。它具有无损检测、非苛刻性、精度高、成像并可观察感兴趣区域等优点，可应用于石墨烯、太阳能电池、自组装单分子层，蛋白质-蛋白质相互作用等领域。成像椭偏仪在对待测样品进行测量之前，需要对其系统参数进行精确的校准，系统参数校准的好坏将直接影响成像椭偏仪测量的准确性。本论文主要围绕成像椭偏仪系统的校准进行展开，以实现准确校准成像椭偏仪系统参数为目标，深入
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