低温等离子体技术在处理密闭舱室中低浓度、大气量、多品种有机污染物和分解CO2制氧气方面具有特殊的优势，但仍然面临着难以解决的问题：抑制有害副产物的生成和提高反应的选择性。要解决这些问题需要系统研究等离子体化学反应机理，需要搞清放电体系中各种气体组份的变化特征以及相互作用规律。本文以低温等离子体处理密闭舱室有机污染物时最常用的空气分子O2、N2、N2/O2、CO2等为放电体系，以大气压介质阻挡放电为等离子体产生方式，以放电时各种活性基团产生的发射光谱为主要研究手段，研究放电过程中产生的活性基团的类型、能量特征、化学活性、浓度变化规律和相互之间的化学反应过程。研究表明： 1、氧气介质阻挡放电时产生的活性基团主要是各种能量在9.15-15.78eV之间的激发态氧原子、激发态氧分子和能量高于15eV的氧分子离子，当氧气中含有少量水蒸气时还会产生OH自由基和能量更高的激发态O+离子；这些活性物种的形成涉及氧气分子的激发、离解和电离等多种过程，氧分子激发产生的亚稳态o2(A3∑+u)及离解产生的氧原子是导致氧气电离激发和一系列高激发态氧原子生成的主要因素，这些活性基团是氧化分解气态有机污染物时最主要的氧化剂和能量来源； 2、氮气放电时活性物种主要是能量在6至11eV的不同激发态氮气分子及少量的N2+、NO和激发态N原子，增大放电频率能减少基态和激发态的NO浓度； 3、N2/O2混合放电时，随着氧气含量的增加，五重态氮分子和NO迅速减少，而高能量、高活性的N+2(B2∑+u)的浓度明显增大，同时电子温度也明显升高，因此，N2/O2混合气体提供的更多高能量活性基团和高能量电子有利于提高处理污染物的效率； 4、CO2放电时活性基团主要是激发态CO、CO2+以及O原子，在常压介质阻挡放电这种温和的实验条件下，CO2分子也能够分解为CO、C和O2； 5、量子化学计算表明，CO2在放电中存在三种分解途径，其中三重态分解途径能垒最低，是低能量放电体系中最可能的分解途径。