随着航空领域装备的不断发展,大深径比的微孔加工工艺得到了更加广泛的应用。微细电火花加工工艺因采用非接触式加工,具备无明显作用力、加工精度高、可加工难切削导电材料等优势,在微细深小孔加工过程中表现优越。但微细电火花深小孔加工过程中加工参数的选取对加工性能有着极大的影响,且加工后工件的表面完整性也制约着其使用性能。因此,开展微细电火花深小孔加工及表面完整性的研究,对提高微细电火花深小孔加工性能和避免加工缺陷具有重要意义。为分析微细电火花深小孔加工过程中间隙流场的变化情况和放电碎屑的排出情况,建立了对应的间隙流场仿真模型和放电碎屑运动仿真模型。分析了冲液条件及电极形状对间隙流场分布的影响及差异。随后,研究得到在圆电极和削边电极条件下电极转速、冲液速度、加工深度、电极摇动半径、抬刀高度等因素对流场流速的影响规律。为探究加工参数对微细电火花深小孔加工性能的影响规律,基于晶体管微能脉冲电源,通过单因素实验,得到不同电参数及电极摇动半径对加工时间、电极损耗、放电间隙和孔口质量的影响规律,并通过正交实验选出针对特定加工指标的最佳加工参数组合方案。在此基础上通过实验分析,得到抬刀高度、抬刀频率和削边电极对加工性能的影响规律。为开展微细电火花加工表面完整性的研究,在微细电火花深小孔加工和平面铣削条件下,得到两者加工表面粗糙度之间的差异和其随电参数的变化规律。之后利用单脉冲放电实验并结合放电过程中的典型波形,分析得到放电凹坑的形貌演变规律及影响因素,并进一步诠释了表面粗糙度的形成过程。最后通过对放电能量的控制,分析了加工后表面微观形貌及成分变化和重熔层产生的原因。