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闭环电容式微加速度计凭借其高灵敏度、高动态范围、低功耗、体积小等优点,成为了惯性器件研究的热点。随着微加速度计在商用、民用、军用等各个方面的广泛普及,对于其性能的要求也越来越高。对于闭环微加速度计来说,其性能指标主要取决于接口电路。因此,设计高性能的接口电路,是提高闭环微加速度计的动态范围的重要途径。闭环微加速度计的噪声以及量程大小决定了加速度计的动态范围。本文在研究了闭环微加速度计工作原理、接口电路结构的基础上,详细分析了微加速度计各部分噪声,其中前级运算放大器噪声和参考电