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碳纳米管的发现,引起了全世界众多科学家的广泛关注,其优异的电学、力学、磁学性能,在许多领域有广泛的应用前景。尤其是它具有大的长径比,低的功函数,良好的导电性和纳米级的曲率半径,使它能够在相对较低的电压下就能发射电子,因此被认为是一种优良的场致发射阴极。已经在扫描电子显微镜和透射电子显微镜等高分辨率电子束器件、场致发射平面显示器、微波器件等电真空器件中进行了原理性甚至实用性验证。本文首先对微波等离子体化学气相沉积(MWPCVD)法制备碳纳米管时生长温度、催化剂种类、催化剂厚度、碳源混合气体比