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单晶硅精密研抛的分子动力学仿真及试验研究

来源 :吉林大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dongwinder

【作 者】

：

张文爽 

【出 处】

：

吉林大学

【发表日期】

：

2013年05期

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