【摘 要】
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低温等离子体在工业上的应用具有十分广阔的前景,目前普遍采用的是在大气压下介质阻挡放电产生等离子体。而介质阻挡放电产生等离子体的效果直接与反应器的结构和供电电源的电压、频率相关。本文研究目的是基于介质阻挡放电反应器放电特性,总结出介质阻挡放电反应器结构的优化设计原则,提供一种与介质阻挡放电反应器匹配的中频高压电源的设计方案。文章首先系统地研究了影响介质阻挡放电的因素。针对板-板式介质阻挡放电反应器的
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低温等离子体在工业上的应用具有十分广阔的前景,目前普遍采用的是在大气压下介质阻挡放电产生等离子体。而介质阻挡放电产生等离子体的效果直接与反应器的结构和供电电源的电压、频率相关。本文研究目的是基于介质阻挡放电反应器放电特性,总结出介质阻挡放电反应器结构的优化设计原则,提供一种与介质阻挡放电反应器匹配的中频高压电源的设计方案。文章首先系统地研究了影响介质阻挡放电的因素。针对板-板式介质阻挡放电反应器的极板结构、气隙间距、激励电压和频率等影响介质阻挡放电的因素,进行了详细的实验分析;从统计结果
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