声表面波理论的研究最先开始于1885年,英国物理学家瑞利一篇题为《沿弹性体平滑表面传播的波》的学术论文。随着人们对声表面波基础理论研究的不断深入,各种功能强大的声表面波器件被设计开发并制造出来,其中研究最充分、应用最广泛的则属于声表面波滤波器,相比于其他滤波技术,声表面波滤波器损耗小、体积小、重量轻、耐高功率、温度稳定性好、适合大批量生产,因此逐渐成为了全球电子通信技术领域的重要研究发展热点。在全球范围内,每年生产的声表面波滤波器有几十亿个,未来,这种市场需求还可能会一直持续。因此,对声表面波滤波器的技术研究以及开发应用具有重大意义。本文介绍了声表面波滤波器的研究背景、国内外研究史以及发展趋势,阐述了声表面波带通滤波器的基本原理,以及它与传统的滤波器相比所展现的优势,并基于单端对声表面波谐振器的RLC等效电路模型设计了一个应用于通信设备接收端且中心频率为2GHz的阶梯型声表面波带通滤波器。首先借助电磁仿真软件ADS和有限元分析软件COMSOL确定了单端对声表面波谐振器的结构参数。然后进行了电极宽度为450nm的单端对谐振器的流片,并在搭建的测试平台上对流片成功的单端对谐振器进行了S参数的测量。随后根据测得的S参数经过一系列数据处理提取出了单端对谐振器的RLC等效电路参数,并对提取到的等效电路参数进行了验证。结果表明:在谐振频率附近,RLC等效电路模型能够近似表征单端对谐振器的电学特性,进一步验证了RLC等效电路模型的可适用性。最后,利用提取到的谐振器参数,再一次进行了阶梯型声表面波带通滤波器的设计,仿真结果显示,利用提取到的谐振器的等效电路参数能够仿真出符合要求的带通滤波器。滤波器的中心频率为2GHz,50MHz带宽范围内最小插损2d B,带外抑制大于25d B。