微结构谐振式压力传感器是通过检测其机械谐振器谐振频率的变化来实现压力测量,它的特点是尺寸小,精度高,稳定性好,易与数字电路接口,具有广阔的应用前景。静电、光热及电磁是其几种常用的激励方式,信号的拾取方式通常有电容检测、压阻拾振、电磁感应法以及压电拾振。本文设计的谐振梁压力传感器采用电热激励和压阻拾振。研究内容包括谐振梁压力传感器的原理、设计、计算机仿真、制作及测试。主要技术难点在于敏感芯片的制作与检测。采用解析法和有限元法对热激励谐振梁压力传感器的谐振特性及压力敏感机理进行了详细的理论分析。为了提高传感器的压力灵敏度,提出了一种新型硅岛结构。应用有限元分析软件,对硅梁的新结构进行了计算机模拟。分析得出,与通用梁膜一体方槽结构相比,硅岛式谐振梁结构能将传感器灵敏度提高四倍以上。并利用MEMS工艺制作了由硅岛式谐振梁与受压薄膜组成的敏感芯片。设计了一种减小封装应力的结构,完成了压力传感器的封装。根据微弱信号检测技术原理,以锁相环为基础,对开环频率特性测试系统和闭环自激测试系统做了研究与设计。