电化学制备技术是近年发展起来制备功能薄膜材料的重要技术,是软溶液制备技术的重要组成部分。与传统的薄膜制备技术相比,电化学制备技术在沉积反应控制、薄膜形貌控制、沉积速度、能量消耗、环境影响及实验设备等方面都有较明显的优势,正广泛应用于薄膜材料制备的研究当中。 本论文采用电化学制备技术,在钼基体上直接制备了白钨矿结构的CaMoO₄、BaMoO₄、Sr_1-xCa_xMoO₄、Ba_1-xCa_xMoO₄、Ba_1-x-yCa_xSr_yMoO₄等钼酸盐系列薄膜;系统研究了薄膜的制备工艺条件对钼酸盐薄膜质量的影响;开展了钼酸盐系列多晶薄膜的恒电流和恒电位的电化学制备研究;探讨了初始溶液的组分比对Sr_1-xCa_xMoO₄、Ba_1-xCa_xMoO₄、Ba_1-x-yCa_xSr_yMoO₄固溶体薄膜的组分比、晶格参数、表面形貌的影响;研究了钼酸盐多晶薄膜的生长习性;采用XRD、SEM、XPS、AFM等分析测试手段表征了薄膜的相结构、表面形貌、薄膜组分及组分比等物化性能;研究了薄膜的室温光致发光特性。通过上述研究工作,得到了如下具有显著创新性的研究成果: （1） 系统研究了电化学制备技术工艺条件,如电流密度、基体表面粗糙度、反应时间、溶液pH值、反应温度等条件对ABO₄结构的钼酸盐薄膜质量的影响,得出了制备钼酸盐多晶薄膜的优化工艺条件。研究表明:电流密度和pH值决定着溶液中B⁶⁺离子浓度,温度会影响离子的扩散速度。这些工艺条件主要影响薄膜的生长速度,从而影响薄膜的晶粒形貌、致密性和附着力。金属衬底的表面粗糙度直接影响薄膜的生长,制约薄膜的质量,主要表现在薄膜的缺陷数量、晶粒度的大小和均匀性等方面。该项系统的研究工作,尚未见报道。