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制备高密度、高纯度、高均匀性和大尺寸ITO(Indium Tin Oxide)靶材对充分利用中 国铟资源优势,改变铟产品结构具有重要的意义.该文研究了化学共沉淀法制备ITO靶材热 等静压致密化工艺.选用热等静压致密化工艺的依据是用这种方法容易获得致密体.
ITO靶材热等静压致密化工艺与理论
【摘 要】
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制备高密度、高纯度、高均匀性和大尺寸ITO(Indium Tin Oxide)靶材对充分利用中 国铟资源优势,改变铟产品结构具有重要的意义.该文研究了化学共沉淀法制备ITO靶材热 等静压致
【机 构】
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中南大学
【出 处】
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中南工业大学 中南大学
【发表日期】
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2000年期
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