在高分辨率高精度光学干涉检测过程中,系统中元件的缺陷及干涉环境中(除干涉腔外)的微小颗粒产生的寄生干涉条纹等相干噪声,严重制约着干涉测试精度的提高。因此,本论文针对干涉系统检测过程中存在的相干噪声,从干涉系统的光源部分入手,展开了对抑制相干噪声方法的研究,得到了若干有意义的结果。根据干涉成像系统的理论模型,以最大化抑制相干噪声为目标,深入分析了环形光源照明模式下的干涉模型,该照明方法具有在抑制相干噪声的同时,最优化的保留了干涉条纹的对比度。然后,通过范西特-泽尼克(Van Cittert-Zernike)定理对环形光源与准点光源的空间相干度进行对比,得到了环形光源照明的光场强度分布及对比度表达式,并进一步模拟了离轴照明方法所引起的问题,并就环形光源半径的大小,宽度及干涉腔长等参量与干涉条纹对比度之间的关系进行了验证、分析与讨论。为了验证环形光源具有抑制相干噪声的能力,在Zemax光学设计软件中,通过光栅衍射的方法得到了环形光源,并设计建模了φ100mm口径的Fizeau干涉模型,然后,在相同噪声的条件下,就环形光源照明与传统点光源照明的干涉效果进行对比,发现用环形光源照明的方法在保留干涉条纹对比度的同时,对相干噪声有着良好的抑制能力。通过对环形光源照明技术的研究,它在最优化保留干涉图对比度的同时,有助于抑制光学元件疵病、系统杂散光等产生的相干噪声,这对提高干涉测试系统的信噪比,扩展干涉系统的可测空间频率范围有着非常重要的意义。