紧缩场反射面板光学检测系统的研制

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该课题研究了紧缩场反射面板装调的光学检测原理和装置,由于目前面板系统精度的要求越来越高,面板的要求精度与现有的测量仪器的精度的数量级基本相同,因此需要开发一种新的测量方法,利用较高精度的测量仪器达到更高的面板测量精度.因此该文提出了利用抛物面的光学反射特性来检测面板的方法.要测量抛物面的位置和姿态,首先需要建立一测量坐标系,并标定出测量系统中关键部件在测量价值系中的位置.文章中提出建立一以测量仪器本身为基准的测量坐标系,并用测量元件标定出关键测量元件的位置,建立了测量坐标系和抛物面标准坐标系的转换关系,方便抛物面位姿的调整工作.利用抛物面板的光学反射特性,用激光照射抛物面面板,接收反射光线来求得抛物面上点的坐标,拟合抛物面在测量坐标系下的任意位置和姿态下的方程,并求得其位置和姿态.根据检测原理,设计了一套抛物面位置和姿态的检测装置,并加工装配.利用这套设备进行对现有的缩比抛物面进行实验.分别用三坐标测量机和文章中提出的坐标系建立方法,对重要测量元件的标定进行比较.用文章中提出检测抛物面位姿的方法进行了初步试验.计算得到抛物面的位置和姿态后,就要对抛物面不正确的位置和姿态进行调整.文章中设计了两种调整方法:六杆并联机构调整方式和冗余支链调整方式,并对前者进行了仿真计算,针对后者设计了具体调整步骤.
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