【摘 要】
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在大规模集成电路生产工艺中,对各种薄膜台阶高度的在线检测是提高产品质量和生产效率的必要手段.该文重点对接触式台阶测量技术进行了理论研究.推导了不同触针所对应的表面
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在大规模集成电路生产工艺中,对各种薄膜台阶高度的在线检测是提高产品质量和生产效率的必要手段.该文重点对接触式台阶测量技术进行了理论研究.推导了不同触针所对应的表面最小可分辨波长;建立了触针扫描模型,研究了触针扫描中的非线性响应和测量失真,得出了台阶测量系统的幅频响应.在研究了台阶测量仪中的精密机械系统,触针扫描系统,信号拾取和处理系统及计算机控制系统等所有子系统的基础上,进行了台阶测量仪的总体设计.研制了一台实用化、高精度、自动化的台阶测量仪.对仪器进行了精度检测与误差分析.
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