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随着科学技术的飞速发展,集成电路和软件早已经成为信息社会经济发展的基石和核心,其中集成电路是最能体现知识经济特征的典型产品之一。目前,以集成电路为基础的电子信息产业已成为世界第一大产业,芯片制造技术上采用了更大尺寸的硅晶片(300 mm) ;采用铜线互连技术替代铝线技术,进一步缩小芯片内部特征尺寸(采用90 nm甚至65 nm的制造技术)。这样人们对晶体的完美性,电特性就提出更为严格的要求,特别是微区的电特性及其均匀性更引起人们的关注,微区电阻率的测试已经成为芯片加工之中的重要工序。为了更好的保证芯