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微悬臂梁和微薄膜是典型的微结构,在微纳科学与技术领域有着广泛的应用,而微结构的机械特性又是设计、研发和使用过程中最为关心的参数之一。在原子力显微镜(AFM)的使用中,微悬臂梁的机械特性直接影响到原子力显微镜的成像质量和测试精度;微薄膜在微电子技术、微电子机械系统及表面防护技术等方面有广阔的应用前景。本文在充分调研的基础上,结合显微激光多普勒技术,提出了脉冲激励信号作用下的自由衰减测试方法,基于虚拟仪器技术,组建了以激光多普勒测振仪为核心的微结构离面运动测试系统。实现了对微结构