目前，多层材料微悬臂梁由于其特殊的性能在MEMS系统中的应用日益广泛，当器件正常工作或者移动，甚至故障时，微悬臂梁的多层结构的应力、可靠性对MEMS系统本身将产生一定的影响。本课题主要是针对某型多层材料微悬臂梁，通过有限元建模方法研究多层悬臂梁的弹性常数与结构尺度的关系，研究应力状态及在受到简谐波振动和突然冲击时动态响应。本文首先将依据微悬臂梁的特点，建立单层微悬臂梁和多层复合微悬臂梁的理论关系，推导多层复合微悬臂梁等效弹性常数的数值计算方程。其次，利用有限元分析软件和等效多层复合微悬臂梁模型，对结构进行建模分析，在前面推导的基础上，建立具体一个微悬臂梁模型，计算沉积层厚度与弹性常数之间的关系，讨论了微悬臂梁几何尺度对弹性常数的影响，特别指出了当沉积层厚度超过一定范围时，其本身受到的重力对系统的影响就越来越大，提出了一种建模方面的参考方法。最后，初步分析计算多层复合微悬臂梁结构材料内部的应力状态，以及多层微悬臂梁的谐振特性；重点考虑在冲击载荷作用下的动态响应问题。通过有限元的分析可知，MEMS器件内部的多层微悬臂梁结构尺寸和性能参数对微构件的应力、应变和固有频率产生了一定的影响，研究结果对MEMS器件微构件的设计和机械性能的改善具有一定的参考意义。