当前,随着我国电力事业的不断发展,输电设备状态检修的全面推行,电力系统正逐步由离线检测设备状态向在线监测设备状态方向发展,各类设备的在线监测技术迅猛发展。六氟化硫气体(SF6)作为当今应用于电力设备最理想的绝缘和灭弧介质,在高压开关设备应用中受到越来越多的重视。六氟化硫含水量的控制是六氟化硫气体应用中一项重要的测试项目,含水量的多少决定了高压开关设备运行过程中的安全性。因此,需要采用专业的微水测试设备才能精确测量出六氟化硫含水量。目前国内对SF6断路器微水在线监测技术主要是通过对SF6断路器内部微水的监测判断出微水的含量,但是所测出的值存在误差。本文设计根据现场500kV变电所的需要,设计出SF6微水密度装置,并实现实时在线监测。SF6微水密度装置主要由温度变送器,压力变送器和露点(湿度变送器)组成,在微型处理器中采用本文设计中提出的计算方案,对所测得的数据进行校验和改进,得出较为精确的SF6断路器微水值,并实时的反映到用户界面,从而能够合理的判断断路器的运行状态。本文设计对高压开关设备中SF6气体微水含量进行在线监测具有重要的实用价值与社会意义。本文首先介绍了六氟化硫(SF6)在高压设备中的应用,水份对高压开关设备的危害性,说明水份含量控制的重要性,综述了目前国内外测量仪器对SF6气体微水的监测方法,提出较为精确的SF6微水密度装置在线监测系统。其次,本文设计通过SF6微水密度装置对设备中的压力,温度,湿度(露点)进行实时监测。采用本文设计中的算法对所测得到的数据进行校验和改进,再把数据发到上位机,从而能够更加清晰的监测到SF6气体中的含水量,以此判断出对设备的正常运行是否有影响。最后,对实际设备中SF6气体进行现场测试,并得出实验结果。实验结果表明,所设计的SF6微水密度在线监测系统能够达到预期效果。由于排除了因为污染和可能的误操作带来的误差,其精度与可靠性都有一定程度的提高。本文所研究的六氟化硫气体微量水份测量仪,有效的提高了气体中微量水份测量的精度与可靠性,对于提高国内的微量水份测试水平具有重要的实用价值与现实意义。